Laser conditioning of LaF3/MgF2 dielectric coatings for excimer lasers

verfasst von

Norbert Kaiser, Bernhard Anton, H. Jaenchen, Klaus R. Mann, Eric Eva, C. Fischer, Rainer Henking, Detlev Ristau, Peter Weissbrodt, Dirk Mademann, L. Raupach, Erich Hacker

Abstract

LaF ₃/MgF ₂-dieletric thin film combinations can be applied in optics for wavelengths down to 150 nm. Several such HR systems for a wavelength of 248 nm were investigated. In these coatings, the influence of laser conditioning on damage threshold and absorptivity was found to be remarkable. XPS- and TEM-investigations showed that the conditioning effect is related to structural and stoichiometric changes in the multilayers, especially in the near-surface-sublayers.

Externe Organisation(en)

Laser-Laboratorium Göttingen e.V. (LLG)
Laser Zentrum Hannover e.V. (LZH)
JENOPTIK Laser GmbH
Fraunhofer-Institut für Angewandte Optik und Feinmechanik IOF

Typ

Paper

Seiten

400-409

Anzahl der Seiten

10

Publikationsdatum

14.07.1995

Publikationsstatus

Veröffentlicht

Peer-reviewed

Ja

ASJC Scopus Sachgebiete

Elektronische, optische und magnetische Materialien, Physik der kondensierten Materie, Angewandte Informatik, Angewandte Mathematik, Elektrotechnik und Elektronik

Elektronische Version(en)

https://doi.org/10.1117/12.213762 (Zugang: Unbekannt)